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申请/专利权人：浙江超晶晟锐光电有限公司
摘要：本发明公开了一种控制红外探测器芯片GaSb衬底表面颗粒杂质的方法，包括S1、对红外探测器芯片GaSb衬底进行抛光，用去离子水进行冲洗；S2、将所述抛光后的芯片GaSb衬底干燥完全，之后依次利用丙酮、去离子水重复喷枪清洗；S3、将所述清洗后的芯片GaSb衬底依次浸入异丙醇、无水乙醇、去离子水中进行超声清洗，之后在纯氮气流中干燥完全。本发明提供的方法通过抛光去除了芯片GaSb衬底表面的氧化层，增加了表面疏水性，进一步降低了其表面粗糙度并去除了杂质，再通过丙酮、去离子水喷枪清洗去除额外的有机污染物和大部分抛光液磨粒，最后再辅以有机溶剂超声清洗，可以有效去除芯片GaSb衬底表面剩余的残留及颗粒物。
主权项：1.一种控制红外探测器芯片GaSb衬底表面颗粒杂质的方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、对红外探测器芯片GaSb衬底进行抛光，用去离子水对所述红外探测器芯片GaSb衬底进行冲洗，获得抛光后的芯片GaSb衬底；S2、在纯氮气流下，将所述抛光后的芯片GaSb衬底干燥完全，之后依次利用丙酮、去离子水重复喷枪清洗，获得清洗后的芯片GaSb衬底；S3、将所述清洗后的芯片GaSb衬底依次浸入异丙醇、无水乙醇、去离子水中进行超声清洗，之后在纯氮气流中干燥完全，获得除杂后的红外探测器芯片GaSb衬底。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江超晶晟锐光电有限公司 一种控制红外探测器芯片GaSb衬底表面颗粒杂质的方法
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