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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
摘要：一种衬底翘曲确定系统，包括：至少三个第一支撑装置和至少三个第二支撑装置，形成被配置为承载衬底的第一和第二衬底支撑区域；致动器，被配置为沿垂直方向移动至少三个第二支撑装置；以及控制器，用于驱动致动器。控制器被配置为确定由致动器施加的力，将所确定的由致动器在第二衬底支撑区域相对于第一衬底支撑区域的垂直方向的位置处施加的力与在第二衬底支撑区域相对于第一衬底支撑区域的垂直方向的预定位置处的预定力进行比较，并且根据比较确定衬底的翘曲。
主权项：1.一种衬底翘曲确定系统，所述系统包括：至少三个第一支撑装置，形成第一衬底支撑区域，所述第一衬底支撑区域被配置为承载衬底，至少三个第二支撑装置，形成第二衬底支撑区域，所述第二衬底支撑区域被配置为承载所述衬底，致动器，被配置为沿垂直方向移动所述至少三个第二支撑装置，以及控制器，被配置为驱动所述致动器，其中所述控制器被配置为：确定由所述致动器施加的力，确定所述第二衬底支撑区域相对于所述第一衬底支撑区域的所述垂直方向的位置，驱动所述致动器将所述至少三个第二支撑装置从以下中的一者移动：下部位置，其中从垂直方向看，所述第二衬底支撑区域位于所述第一衬底支撑区域下方，以便通过所述第一衬底支撑区域承载所述衬底；以及上部位置，其中从所述垂直方向看，所述第二衬底支撑区域位于所述第一衬底支撑区域上方，以便由所述第二衬底支撑区域承载所述衬底到所述下部位置和所述上部位置中的另一者，以及当所述至少三个第二支撑装置从所述下部位置和所述上部位置中的一者移动到所述下部位置和所述上部位置中的所述另一者时，确定由所述致动器在所述第二衬底支撑区域相对于所述第一衬底支撑区域的所述垂直方向的所述位置处施加的所述力，将所确定的由所述致动器在所述第二衬底支撑区域相对于所述第一衬底支撑区域的所述垂直方向的所述位置处施加的所述力与在所述第二衬底支撑区域相对于所述第一衬底支撑区域的所述垂直方向的预定位置处的预定力进行比较，以及根据所述比较确定所述衬底的翘曲。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 衬底翘曲度确定系统
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