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申请/专利权人：青岛天仁微纳科技有限责任公司
摘要：本发明公开了一种基于多尺度图像识别的纳米压印晶圆高精度对准方法，属于图像处理技术领域，本发明在对图像灰度化后，构建了三种尺度的图像，分别对三种尺度的图像提取轮廓，并将轮廓细化处理，使得轮廓线条清晰，再根据三种尺度的图像中的轮廓线的弯曲特征值，找到标记点坐标，结合三种尺度的图像，提高寻找标记点坐标的精度，将标记点坐标映射到空间坐标中，根据空间坐标，得到偏差位置，基于偏差位置对晶圆进行对准。本发明通过对三种尺度的图像提取轮廓中心点，构建三种尺度的细化图像，使得轮廓结构更清晰，提高确定标记点的精度，再结合三种尺度下的轮廓线的弯曲特征值，找到标记点坐标，进一步地提高确定标记点的精度，从而提高对准精度。
主权项：1.一种基于多尺度图像识别的纳米压印晶圆高精度对准方法，其特征在于，包括以下步骤：S1、采集晶圆放置后的图像，对图像灰度化处理，得到灰度图；S2、对灰度图构建放大图像、缩小图像和原始图像；S3、分别对放大图像、缩小图像和原始图像提取轮廓，得到放大轮廓图、缩小轮廓图和原始轮廓图；S4、分别对放大轮廓图、缩小轮廓图和原始轮廓图提取轮廓中心点，构建放大细化图、缩小细化图和原始细化图；S5、对放大细化图、缩小细化图和原始细化图提取轮廓线的弯曲特征值，找到标记点坐标；S6、将标记点坐标映射到空间坐标中，得到偏差位置，根据偏差位置对晶圆进行对准。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 青岛天仁微纳科技有限责任公司 一种基于多尺度图像识别的纳米压印晶圆高精度对准方法
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