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申请/专利权人：上海新阳半导体材料股份有限公司
摘要：本发明公开了一种提篮分拣装置及晶圆封装设备，提篮分拣装置包括活动支架、固定支架和载物支架；固定支架上设有多个固定机构，固定机构用于固定提篮承载机构；活动支架具有移动机构和搬运机构，搬运机构设置在移动机构上，移动机构用于在至少两个自由度上移动搬运机构，驱动搬运机构将提篮承载机构从固定机构上抓取运送至载物支架上，以及驱动搬运机构将提篮承载机构从载物支架上抓取运送至任意空置的固定机构上。本发明的技术方案能够在至少两个自由度上控制运送提篮承载机构，除了提篮上货和下货之外，其他工序都是自动化、智能化地工作，无需人工介入，大大提高了晶圆封装的效率，降低了成本。
主权项：1.一种提篮分拣装置，其特征在于，包括活动支架、固定支架和载物支架；所述固定支架上设有多个固定机构，所述固定机构用于固定提篮承载机构；所述活动支架具有移动机构和搬运机构，所述搬运机构设置在所述移动机构上，所述移动机构用于在至少两个自由度上移动所述搬运机构，驱动所述搬运机构将提篮承载机构从所述固定机构上抓取运送至所述载物支架上，以及驱动所述搬运机构将所述提篮承载机构从所述载物支架上抓取运送至任意空置的固定机构上。
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权利要求：
百度查询： 上海新阳半导体材料股份有限公司 提篮分拣装置及晶圆封装设备
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