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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：提供了用于检测基板工艺的终点的方法和系统。机器学习模型的集合被训练为基于针对基板收集的光谱数据来提供与所述基板的特定类型的计量测量相关联的计量测量值。鉴于与所述特定类型的计量测量相关联的性能评级，选择相应的机器学习模型，以应用于针对未来基板在未来基板工艺期间收集的未来光谱数据。当前光谱数据是在当前基板的当前工艺期间收集的，并且被提供作为对相应的机器学习模型的输入。从所述经训练的机器学习模型的一个或多个输出提取对与所述当前基板对应的相应的计量测量值的指示。响应于确定所述相应的计量测量满足计量测量准则，生成包括终止当前工艺的命令的指示。
主权项：1.一种使用机器学习来进行基板工艺检测的方法，所述方法包括：提供训练数据来训练多个机器学习模型中的每一者，以基于在针对基板执行的基板工艺期间收集的光谱数据，来提供与所述基板的特定类型的计量测量相关联的计量测量值，其中所述多个机器学习模型中的每一者与机器学习模型类型集合中的不同类型相关联；基于由相应的机器学习模型鉴于所述计量测量的实际测得值所提供的所述计量测量值的准确度，来向所述多个机器学习模型中的每一者分配性能评级，所述实际测得值是基于由计量装备针对先前基板集合中的先前基板收集的历史计量数据来生成的；以及鉴于所述多个机器学习模型中的每一者的所述性能评级，选择要应用于未来光谱数据的所述相应的机器学习模型，所述未来光谱数据是在针对未来基板执行的未来基板工艺期间收集的。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 使用机器学习的基板工艺终点检测
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