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申请/专利权人：无锡尚积半导体科技有限公司
摘要：本发明提供一种完全非对称式PVD磁控器及镀膜试验方法，完全非对称式PVD磁控器包括上安装盘，经所述上安装盘直径的其中两条直线分别配置为第一直线和第二直线，所述第一直线与所述第二直线互相垂直；下安装盘，位于第一直线的一侧、相对于第二直线镜像对称；若干磁铁，分别布置在所述下安装盘靠近上安装盘的侧面上；配重块，位于第一直线的另一侧、与所述上安装盘相连接，所述配重块相对于第二直线镜像对称；移动件，用于驱动所述下安装盘沿所述第二直线移动，以使得所述磁控组件靠近或远离所述回转中心；镀膜试验方法使用完全非对称式PVD磁控器来实现，利用下安装盘、磁铁、配重块和移动块的配合解决侧壁台阶镀膜偏边问题。
主权项：1.一种完全非对称式PVD磁控器，其特征在于，包括：上安装盘（100），所述上安装盘（100）的圆心配置为回转中心，经所述上安装盘（100）直径的其中两条直线分别配置为第一直线和第二直线，所述第一直线与所述第二直线互相垂直；下安装盘（200），位于第一直线的一侧、相对于第二直线镜像对称；磁控组件，包括若干磁铁（300），分别布置在所述下安装盘（200）靠近上安装盘（100）的侧面上；在两个相邻所述磁铁（300）中，其中一个所述磁铁（300）一端的磁极与其中另一个所述磁铁（300）一端的磁极相反；配重块（400），位于第一直线的另一侧、与所述上安装盘（100）相连接，所述配重块（400）相对于第二直线镜像对称；移动件（500），用于驱动所述下安装盘（200）沿所述第二直线移动，以使得所述磁控组件靠近或远离所述回转中心，所述移动件（500）包括上滑块（510）、下滑块（520），所述上滑块（510）设置在所述上安装盘（100）上，所述下滑块（520）设置在所述下安装盘（200）上、能够沿第二直线移动；紧固件（600），用于固定所述上安装盘（100）和所述下安装盘（200）之间的相对位置。
全文数据：
权利要求：
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