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申请/专利权人:上海华虹宏力半导体制造有限公司
摘要:本发明本发明提供了一种半导体产线排程的形成方法,包括:将待生产的产品分为若干个批次;将产线设备分为若干个设备群组;将剩余的停留时间较短的若干批次取出,并按照剩余的停留时间的长短对取出的若干批次排序;将批次优先级位于前列的若干批次取出,并按照批次优先级的等级对取出的若干批次排序;将剩余的批次按照交货日期排序;将排序后的批次依次排列好;将排列好的所有批次依次取出,每次取出的批次分别从所有设备群组中均分别选出首选设备;如果设备群组中的首选设备对应的批次数量差异较大,则将设备群组中的首选设备对应的批次数量均匀化处理。本发明平衡了生产线的生产,促使了产能优化。
主权项:1.一种半导体产线排程的形成方法,其特征在于,包括:S1:将待生产的产品分为若干个批次;S2:将产线设备分为若干个设备群组,每个所述设备群组内的设备具备相同的工艺生产能力,不同的所述设备群组之间在产线上存在一定的上游或下游关系;S3:在若干个批次中,将剩余的停留时间较短的若干批次取出,并按照剩余的停留时间的长短对取出的若干批次排序;S4:在步骤S3中剩余的批次中,将批次优先级位于前列的若干批次取出,并按照批次优先级的等级对取出的若干批次排序;S5:将步骤S4中剩余的批次按照交货日期排序;S6:将步骤S3排序后的批次、步骤S4排序后的批次和步骤S5排序后的批次依次排列好;S7:将排列好的所有批次依次取出,每次取出的批次分别完成的步骤包括:S71:选择一设备群组中正在生产的产品与该批次产品的制程相同的设备,作为首选设备;S72:如果步骤S71中不存在该设备,则选择同一所述设备群组中正在生产的产品与该批次产品的结构相同的设备,作为首选设备;S73:如果步骤S72中不存在该设备,则选择等待时间最短的设备,作为首选设备;S74:循环步骤S71~步骤S73,从所有设备群组中均分别选出首选设备;S8:如果所述设备群组中的所述首选设备对应的批次数量差异较大,则将所述设备群组中的所述首选设备对应的批次数量均匀化处理。
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