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申请/专利权人：江苏亨通光导新材料有限公司;内蒙古亨通光学材料有限公司

摘要：本发明公开了一种低水峰光纤预制棒无氦烧结装置及其使用方法，该装置包括：主炉体，包括装载腔及其外部的夹层腔，装载腔内放置生产用光纤预制棒，夹层腔内设置用于对光纤预制棒进行加热的加热装置，装载腔压力大于夹层腔压力；炉内排气系统，包括与装载腔相通的装载腔排气系统及与夹层腔相通的夹层腔排气系统，通过装载腔排气系统实现装载腔的排气功能，通过夹层腔排气系统实现夹层腔的排气功能。本发明可高效完成脱羟、脱气玻璃化、增压取棒工艺过程，从根本上解决随着使用时间增长光纤预制棒烧结腔洁净度逐步恶化的问题，同时解决无氦烧结技术中脱羟效率低的问题，能够在相对更短的时间内得到低OH‑的包层，大幅度降低生产制造周期及成本。

主权项：1.一种低水峰光纤预制棒无氦烧结装置的使用方法，其特征在于，所述低水峰光纤预制棒无氦烧结装置包括：主炉体，包括装载腔及其外部的夹层腔，所述装载腔内放置有生产用光纤预制棒，所述夹层腔内设置有用于对光纤预制棒进行加热的加热装置，所述装载腔压力大于夹层腔压力；炉内排气系统，包括与装载腔相通的装载腔排气系统以及与夹层腔相通的夹层腔排气系统，通过装载腔排气系统实现装载腔的排气功能，通过夹层腔排气系统实现夹层腔的排气功能；所述使用方法包括以下步骤：首先，确认挂取棒点位在零点，即烧结引杆及连接套在指定位置；然后，将光纤预制棒挂至连接套上；开始进入生产状态，控制光纤预制棒进棒至生产位置，在进棒过程中，钼加热棒保持在500℃~1100℃温度，保持夹层腔一直处于惰性气体保护氛围中，待光纤预制棒进棒至生产位置后，此时光纤预制棒有效段进入温区有效位置，位于温区中心位置，此时烧结上部密封装置与主炉体炉口形成密封，首先通过电机控制烧结引杆带动光纤预制棒旋转，转速0.5rpm~20rpm，其次同步打开夹层腔室抽风气动阀、装载腔室排风气动阀，风压控制在-200pa~-600pa，同步开启夹层腔室压力控制阀、装载腔室压力控制阀，装载腔压力设定在50pa~2000pa，通过装载腔室压力表监控装载腔压力，通过夹层腔室压力表监控夹层腔压力，确保装载腔压力始终保持大于夹层腔压力；保持30min~500min后，按照设定斜率0℃min~8℃min升温至目标温度，使用红外热电偶实时监测主炉体内温度，待升温完成，继续保持30min~600min，待上述步骤运行完成后，进入脱气、玻璃化阶段：首先，关闭夹层腔室抽风气动阀、装载腔室排风气动阀、夹层氮气进气气动阀，同步开启夹层腔室真空管道气动阀及装载腔室真空管道气动阀，同步打开夹层腔室真空泵组及装载腔室真空泵组，对装载腔及夹层腔进行同步减压抽空，同步炉温按照设定斜率2℃min~5℃min升温至1520℃~1560℃进行光纤预制棒的玻璃化，按质量百分比计，工艺气体为氮气90%~98%、氯气2%~10%，装载腔真空度要略低于夹层腔真空度，控制范围在0pa~3000pa，通过夹层腔室压力控制阀、装载腔室压力控制阀进行PID控制，待玻璃化完成，同步关闭夹层腔室真空管道气动阀及装载腔室真空管道气动阀，延迟关闭夹层腔室真空泵组、装载腔室真空泵组、夹层腔室压力控制阀、装载腔室压力控制阀，开启夹层氮气进气气动阀，夹层腔进气量为变量，装载腔进气量为1Lmin~5Lmin，然后通过PLC调控气体质量流量控制器的通入量，以保证装载腔室压力表、夹层腔室压力表的压差绝对值在0pa~3000pa以内，待增压完成，同步开始降温，降温至待机温度800℃，通过烧结引杆及连接套将产品提棒至挂取棒点位，通知生产部门取棒，完成本次生产。

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