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申请/专利权人：绍兴圆方半导体有限公司
摘要：本申请提供一种MEMS陀螺仪与加速度计芯片测试装置及其测试方法，包括第一支架、第二支架以及旋转主体，第一支架与第二支架间隔设置，旋转主体的两端分别固定于第一支架与第二支架上，旋转主体包括转接盘、吸振支撑架、弹性片、安装座、吸振垫板以及测试板，吸振支撑架以及弹性片均连接于转接盘上，且吸振支撑架设置于弹性片的外侧，安装座连接于吸振支撑架上，吸振垫板设置于安装座上，测试板设置于吸振垫板上，测试板用于承载芯片，吸振支撑架、吸振垫板以及弹性片用于减振，以降低振动。
主权项：1.一种MEMS陀螺仪与加速度计芯片测试装置，其特征在于，包括第一支架、第二支架以及旋转主体，所述第一支架与所述第二支架间隔设置，所述旋转主体的两端分别固定于所述第一支架与所述第二支架上，所述旋转主体包括转接盘、吸振支撑架、弹性片、安装座、吸振垫板以及测试板，所述吸振支撑架以及所述弹性片均连接于所述转接盘上，且所述吸振支撑架设置于所述弹性片的外侧，所述安装座连接于所述吸振支撑架上，所述吸振垫板设置于所述安装座上，所述测试板设置于所述吸振垫板上，所述测试板用于承载芯片，所述吸振支撑架、所述吸振垫板以及所述弹性片用于减振。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 绍兴圆方半导体有限公司 一种MEMS陀螺仪与加速度计芯片测试装置及其测试方法
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