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申请/专利权人：日本碍子株式会社
摘要：本发明提供一种晶片载置台10，具备具有晶片载置面12a的陶瓷部件12、埋设在陶瓷部件12中的网格电极14、与网格电极14接触并从陶瓷部件12中的与晶片载置面12a相反一侧的面12b露出到外部的导电性的连接部件16、以及接合于连接部件16中露出到外部的面的外部通电部件18。在位于网格电极14中的与连接部件16对置的区域的网格开口部14a填充有烧结导电体15，该烧结导电体是包含导电性粉末和陶瓷原料的混合物的烧结体。
主权项：1.一种晶片载置台，具备：陶瓷部件，其具备晶片载置面；网格电极，其埋设在上述陶瓷部件中；导电性的连接部件，其与上述网格电极接触，从上述陶瓷部件中的与上述晶片载置面相反一侧的面露出到外部；以及外部通电部件，其接合于上述连接部件中的露出到外部的面，上述晶片载置台的特征在于，在位于上述网格电极中的与上述连接部件对置的区域的网格开口部中从上述网格电极的一侧的面遍及另一侧的面填充有烧结导电体，该烧结导电体是包含导电性粉末和陶瓷原料的混合物的烧结体。
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