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申请/专利权人：上海航天控制技术研究所
摘要：本发明提供一种带减振结构的封装管壳及MEMS惯性器件，所述带减振结构的封装管壳，包括管壳本体及多个减振结构，多个所述减振结构采用弹性材料，嵌入在所述管壳本体中并呈对称状分布。所述MEMS惯性器件包括盖板、MEMS芯片和上述的带减振结构的封装管壳，所述MEMS芯片与所述封装管壳电连接，所述盖板与所述封装管壳气密性连接。本发明通过在管壳结构上添加减振结构达到使MEMS惯性器件减振，可以有效的减小有害振动、冲击对MEMS惯性器件的破坏。
主权项：1.一种带减振结构的封装管壳，其特征在于，包括管壳本体及四个减振结构，四个所述减振结构置于所述管壳本体的四个边角处并呈对称状分布；所述减振结构的材质为橡胶；所述减振结构为长方体结构，有两个面裸露于所述管壳本体外。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海航天控制技术研究所 带减振结构的封装管壳及MEMS惯性器件
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