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摘要：本实用新型公开了一种集成刻字码读取功能的晶圆预对准平台，包括支撑组件，支撑组件用于放置晶圆，设于晶圆的下方，具有水平的支撑面，支撑组件包括旋转台以及预对齐台；光源组件，用于在支撑组件上形成晶圆的照明光场；对齐组件，对齐组件包括对齐相机，对齐相机用于拍摄晶圆和支撑组件的图像，晶圆的边缘设有定位边，对齐相机用于定位定位边；以及读码组件，本实用新型相较于传统的光学预对准的方式而言，不需要旋转一整圈，只需要旋转180度就可以找到圆心，降低了晶圆预对准装置的制造成本和提高预对准效率。
主权项：1.一种集成刻字码读取功能的晶圆预对准平台，其特征在于，包括：支撑组件，所述支撑组件用于放置晶圆，设于所述晶圆的下方，具有水平的支撑面，所述支撑组件包括旋转台以及预对齐台；光源组件，用于在所述支撑组件上形成所述晶圆的照明光场；对齐组件，所述对齐组件包括对齐相机，所述对齐相机用于拍摄所述晶圆和所述支撑组件的图像，所述晶圆的边缘设有定位边，所述对齐相机用于定位所述定位边；以及读码组件，所述读码组件包括读码相机和设于所述晶圆上的刻字码，所述读码相机读取所述晶圆上的刻字码信息。
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百度查询： 上海谦视智能科技有限公司 一种集成刻字码读取功能的晶圆预对准平台
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