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申请/专利权人：浜松光子学株式会社
申请日：2018-11-09
公开（公告）日：2020-07-28
公开（公告）号：CN111465884A
专利技术分类：
专利摘要：本发明的晶圆具备：基板层；第1镜层，其具有二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有二维配置的多个第2镜部。在有效区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间形成空隙，而构成多个法布里‑帕罗干涉滤光器部。在沿基板层的外缘且包围有效区域的虚设区域中，通过在第1镜部与第2镜部之间设置中间层，而构成多个虚设滤光器部。在多个法布里‑帕罗干涉滤光器部及多个虚设滤光器部的各个中，至少第2镜部被第1槽包围。
专利权项：1.一种晶圆，其特征在于，具备：基板层，其具有互相相对的第1表面及第2表面；第1镜层，其具有在所述第1表面二维配置的多个第1镜部；及第2镜层，其具有在所述第1镜层上二维配置的多个第2镜部，在有效区域中，通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间形成空隙，而构成互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部间的距离通过静电力而变化的多个法布里-帕罗干涉滤光器部，在沿所述基板层的外缘且包围所述有效区域的虚设区域中，通过在互相相对的所述第1镜部与所述第2镜部之间设置中间层，而构成多个虚设滤光器部，所述多个法布里-帕罗干涉滤光器部及所述多个虚设滤光器部的各个中，至少所述第2镜部由在所述基板层的相反侧开口的第1槽包围。
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