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申请/专利权人:山东浪潮华光光电子股份有限公司
摘要:本发明涉及一种具有有机透明导电层结构的AlGaInP发光二极管及其制备方法,属于半导体加工技术领域,依次包括N电极、GaAs衬底、AlGaInP外延层、电流扩展层和P电极,其中电流扩展层采用PEDOT:PSS,制备方法中,在GaP腐蚀后表面旋涂PEDOT:PSS,之后蒸镀P电极,减薄以及蒸镀N电极,切割管芯等。本发明使用有机透明导电材料PEDOT:PSS作为电流扩展层,透明度高,电导率高,热稳定性好,造价低,并且具体良好的成膜性。
主权项:1.一种具有有机透明导电层结构的AlGaInP发光二极管,其特征在于,依次包括N电极、GaAs衬底、AlGaInP外延层、电流扩展层和P电极,其中电流扩展层采用PEDOT:PSS。
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百度查询: 山东浪潮华光光电子股份有限公司 具有有机透明导电层结构的AlGaInP发光二极管及其制备方法
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