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申请/专利权人：宁波芯丰精密科技有限公司
摘要：本实用新型属于晶圆对准技术领域，公开了晶圆对准装置，其包括安装主板、吸附转盘、对中机构、检测组件以及检测驱动件。吸附转盘转动连接于安装主板并用于吸附固定不同尺寸的晶圆；对中机构设置于安装主板，对中机构用于对不同尺寸的晶圆进行对中；检测组件滑动连接于安装主板，检测组件具有多组检测器，至少一组检测器用于与晶圆的定位缺口对应；检测驱动件与检测组件连接以驱动检测组件靠近或远离吸附转盘。以此该晶圆对准装置在使用时，不仅可以利用对中机构对不同尺寸的晶圆进行对中，还可以对不同尺寸的晶圆进行寻边检测，使得该晶圆对准装置能够兼容多种不同尺寸晶圆的对准检测，有效提高了晶圆对准装置的通用性。
主权项：1.晶圆对准装置，其特征在于，包括：安装主板1；吸附转盘2，转动连接于所述安装主板1并用于吸附固定不同尺寸的晶圆10；对中机构，设置于所述安装主板1，所述对中机构包括对中驱动件5以及两个相对设置的对中组件6，所述对中组件6与所述对中驱动件5连接，所述吸附转盘2位于两个所述对中组件6之间，所述对中驱动件5用于驱动两个所述对中组件6彼此靠近或远离以用于对不同尺寸的晶圆10进行对中；检测组件4，滑动连接于所述安装主板1，所述检测组件4具有多组检测器41，至少一组所述检测器41用于与所述晶圆10的定位缺口对应；以及检测驱动件3，与所述检测组件4连接以驱动所述检测组件4靠近或远离所述吸附转盘2。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 宁波芯丰精密科技有限公司 晶圆对准装置
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