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申请/专利权人：南京理工大学
摘要：本发明公开了一种基于热学响应模型修正的石英晶体微天平温度补偿方法及系统，旨在减小温度对测量精度的影响。本发明基于石英晶体的热学性质，建立反映石英晶体微天平温度‑频率特性的有限元模型，在实测数据的基础上，利用模型修正算法，修正温度对石英晶体密度、弹性常数等参数的影响系数，使修正后的影响系数更好地反映石英晶体微天平真实热学响应特性，在此基础上建立了考虑温度影响的负载检测模型，从而补偿测量过程中由温度变化引入的误差，提高石英晶体微天平的测量精度。
主权项：1.一种基于热学响应模型修正的石英晶体微天平温度补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：通过理论计算分析温度对石英晶体微天平基本属性的影响，在此基础上通过有限元仿真分析石英晶体微天平的温度-频率特性；步骤2：利用带温度控制的石英晶体微天平测量系统，测量采集实际系统中石英晶体微天平的温度-频率特性；步骤3：根据石英晶体微天平的温度-频率仿真数据和实测数据，确定待修正参数，用带交叉项的二次型响应面模型作为有限元模型的代理模型参与修正过程；步骤4：根据修正后的响应面模型建立考虑温度影响的负载检测模型，以补偿由温度变化引入的误差。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 南京理工大学 基于热学响应模型修正的石英晶体微天平温度补偿方法及系统
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