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申请/专利权人：哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司
摘要：本发明公开了海星式晶体制备方法及装置，属于晶体制备领域。常规竖直放置的方式存在空间限制存在制备效率低的技术问题。原料腔形状为筒状或者3分支筒状或者4分支筒状的生长腔，原料腔内装有原料，每个生长腔通过籽晶腔封口，籽晶腔截面呈π字形，籽晶腔内设置凹槽，籽晶镶嵌凹槽的底部U形槽内。本发明的装置呈海星式，设计紧凑保温损耗小，可大幅减少能耗、降低成本，同时实现多颗晶体制备，倍增晶体制备效率。
主权项：1.海星式晶体制备装置，其特征在于，所述装置包括热场、加热器和2个圆盘模块，热场包括籽晶腔、生长腔和原料腔，原料腔内装有原料，原料腔两端连接有2个生长腔，每个生长腔通过籽晶腔封口，籽晶腔截面呈π字形，籽晶腔内设置凹槽，籽晶镶嵌凹槽的底部U形槽内，原料腔外侧设置加热器且原料腔和加热器同轴，加热器端口通过圆盘模块封口，每个圆盘模块中心设置通孔，原料腔呈圆筒形且水平放置。
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权利要求：
百度查询： 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 海星式晶体制备方法及装置
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