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申请/专利权人：深圳市汇顶科技股份有限公司
摘要：本申请提供一种半导体结构及其制作方法，能够制作非直线型的沟槽结构，可以在不增大深宽比且维持占地面积不变的情况下，提升沟槽结构表面积。该半导体结构包括：衬底，包括相对设置的上表面和下表面；至少一个沟槽结构，设置于所述衬底，并自所述上表面向下形成；其中，所述沟槽结构在所述上表面的投影形成曲线型或者折线型的第一图案，所述第一图案包括彼此相邻的n个第二图案，所述n个第二图案中奇数位的第二图案相同，且偶数位的第二图案相同，n为正整数。
主权项：1.一种半导体结构的制作方法，其特征在于，包括：提供衬底，所述衬底包括相对设置的上表面和下表面；基于曲线型或者折线型的第一图案，在所述衬底上刻蚀至少一个沟槽结构，所述沟槽结构自所述上表面向下进入所述衬底，其中，所述第一图案包括彼此相邻的n个第二图案，所述n个第二图案中奇数位的第二图案相同，且偶数位的第二图案相同，n为正整数；在刻蚀所述至少一个沟槽结构之前，所述方法还包括：提供长度为L且宽度为W的直线型沟槽图案，L和W为正数；将所述直线型沟槽图案分割为彼此相邻的n个矩形图案，其中，所述矩形图案在第一方向上具有长度为L的第一长边和第二长边，所述矩形图案在第二方向上具有宽度为W的两个宽边，所述第一方向与所述第二方向垂直；将所述n个矩形图案中奇数位的所述矩形图案按照第一分割线分割为两个第一子图案，所述两个第一子图案分别包括所述第一长边和所述第二长边，且所述第一分割线连接所述第一长边的两个端点；将所述两个第一子图案的长边重合，以形成N1个第一基础图案，N1为正整数；将所述n个矩形图案中偶数位的所述矩形图案按照第二分割线分割为两个第二子图案，所述两个第二子图案分别包括所述第一长边和所述第二长边，且所述第二分割线连接所述第二长边的两个端点；将所述两个第二子图案的长边重合，以形成N2个第二基础图案，N2为正整数；将所述N1个第一基础图案和所述N2个第二基础图案进行组合，以形成所述第一图案，N1与N2的和为n。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市汇顶科技股份有限公司 半导体结构及其制作方法
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