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基于超声扫描和语义分割的IGBT模块芯片焊层缺陷重建方法 

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申请/专利权人:中北大学

摘要:本发明涉及缺陷检测技术领域,具体是一种基于超声扫描和语义分割的IGBT模块芯片焊层缺陷重建方法,该方法是采用如下步骤实现的:步骤一:以待检测模块的四个螺栓固定点作为四个参考点,在四个参考点形成的矩形区域内进行超声扫描;步骤二:对N个模块切片灰度图逐个进行分割;步骤三:计算出Q个模块DBC陶瓷基板区域;步骤四:采用最小二乘法进行三维曲面重构;步骤五:计算出P个模块芯片区域;步骤六:提取出P个模块芯片区域超声扫描信号中模块芯片焊层所在区域信号。本发明解决了传统的缺陷检测方法检测结果误差较大的问题,适用于航空航天、军事防务、新能源、电网、轨道交通和电动汽车等领域。

主权项:1.一种基于超声扫描和语义分割的IGBT模块芯片焊层缺陷重建方法,其特征在于:该方法是采用如下步骤实现的:步骤一:以待检测模块的四个螺栓固定点作为四个参考点,将超声换能器的焦点对准模块的DBC陶瓷基板上任意一个参考点位置,在四个参考点形成的矩形区域内进行超声扫描,得到模块稀疏超声扫描信号;然后,将模块稀疏超声扫描信号按照空间位置组合形成N个模块切片灰度图;步骤二:采用改进的MFSNet分割模型对N个模块切片灰度图逐个进行分割,得到每个模块切片灰度图的P个模块芯片区域坐标参数和Q个模块DBC陶瓷基板区域坐标参数;步骤三:根据N个模块切片灰度图的N×Q个模块DBC陶瓷基板区域坐标参数,计算出Q个模块DBC陶瓷基板区域;具体计算公式如下:Yk=V1k∪V2k∪...∪VNk;式中:k=1,2,...,Q;Yk表示第k个模块DBC陶瓷基板区域;V1k表示第1个模块切片灰度图的第k个模块DBC陶瓷基板区域坐标参数;V2k表示第2个模块切片灰度图的第k个模块DBC陶瓷基板区域坐标参数;VNk表示第N个模块切片灰度图的第k个模块DBC陶瓷基板区域坐标参数;然后,根据Q个模块DBC陶瓷基板区域的模块稀疏超声扫描信号,提取出Q个模块DBC陶瓷基板区域的上表面离散坐标参数;具体公式如下: 式中:k=1,2,...,Q;Wk表示第k个模块DBC陶瓷基板区域的上表面离散坐标参数;nk表示第k个模块DBC陶瓷基板区域的上表面离散坐标点数;步骤四:根据Q个模块DBC陶瓷基板区域的上表面离散坐标参数,采用最小二乘法进行三维曲面重构,得到Q个重构后模块DBC陶瓷基板区域的上表面自由曲面;具体公式如下: z=H0+H1x+H2y+H3x2+H4y2;式中:k=1,2,...,Q;Sk表示第k个模块DBC陶瓷基板区域的上表面自由曲面设计矩阵;nk表示第k个模块DBC陶瓷基板区域的上表面离散坐标点数;H表示曲面模型的参数向量;Z表示给定的三维点的高度值的集合;z表示给定的三维点的高度值;H0、H1、H2、H3、H4均表示通过最小二乘法得到的参数;x表示给定的三维点的横坐标向量;y表示给定的三维点的横坐标向量;然后,根据Q个重构后模块DBC陶瓷基板区域的上表面自由曲面和模块的厚度特征,沿Z坐标轴整体上移距离D,得到Q个模块芯片焊层中心所在自由曲面;具体公式如下: 式中:δSAC表示模块芯片焊层的厚度;δCu表示模块DBC覆铜层的厚度;步骤五:根据N个模块切片灰度图的N×P个模块芯片区域坐标参数,计算出P个模块芯片区域;具体计算公式如下:Xj=U1j∪U2j∪...∪UNj;式中:j=1,2,…,P;Xj表示第j个模块芯片区域;U1j表示第1个模块切片灰度图的第j个模块芯片区域坐标参数;U2j表示第2个模块切片灰度图的第j个模块芯片区域坐标参数;UNj表示第N个模块切片灰度图的第j个模块芯片区域坐标参数;然后,将Q个模块芯片焊层中心所在自由曲面作为输入,使超声换能器的焦点持续聚焦在模块芯片焊层上,对P个模块芯片区域进行高密度超声扫描,得到P个模块芯片区域超声扫描信号;步骤六:根据P个模块芯片区域超声扫描信号,结合模块各层的厚度及声速特征,提取出P个模块芯片区域超声扫描信号中模块芯片焊层所在区域信号;然后,对P个模块芯片区域超声扫描信号中模块芯片焊层所在区域信号进行C-Scan成像,形成模块芯片焊层缺陷灰度图。

全文数据:

权利要求:

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