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申请/专利权人：北京晨晶电子有限公司
摘要：本发明涉及石英材料，具体涉及一种改善石英晶圆双面膜层致密度一致性的方法。所述方法包括在温度T1下对石英晶圆进行第一次预热，时长t1；进行除气，设定温度T2，时长t2；在所述石英晶圆的一面进行沉积；将完成第一次沉积的石英晶圆取出，在温度T3下对其进行第二次预热，时长t3；进行除气，设定温度T4，时长t4；在所述石英晶圆的另一面进行沉积。本发明通过在两面成膜前额外进行两次温度不同的预热，精确控制基材温度进而改善双面膜层致密度一致性。
主权项：1.一种改善石英晶圆双面膜层致密度一致性的方法，其特征在于，包括：S1.在温度T1下对石英晶圆进行第一次预热，时长t1；所述温度T1为80-150℃；所述时长t1为20-40min；S2.进行除气，设定温度T2，时长t2；所述温度T2为100-150℃；所述时长t2为3-10min；所述时长t2小于或等于所述时长t1的110；所述温度T2高于所述温度T120-50℃；S3.在所述石英晶圆的一面进行沉积；S4.将完成第一次沉积的石英晶圆取出，在温度T3下对其进行第二次预热，时长t3；所述温度T3为130-150℃；所述时长t3为20-30min；所述温度T3高于所述温度T110-30℃；S5.进行除气，设定温度T4，时长t4；所述温度T4为100-150℃；所述时长t4为3-10min；步骤S2与步骤S5所述除气的温度及时长相同；所述时长t4小于或等于所述时长t3的110；S6.在所述石英晶圆的另一面进行沉积。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京晨晶电子有限公司 一种改善石英晶圆双面膜层致密度一致性的方法
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