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一种具有连片检测功能的单晶硅片插片装置以及插片方法 

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申请/专利权人:双鹏新能源科技(江苏)有限公司

摘要:本申请公开了一种具有连片检测功能的单晶硅片插片装置,包括控制单元、报警单元、供料槽、分片单元、输送单元以及接收单元,分片单元用于将供料槽处的硅片一片一片地分片至所述输送单元处;接收单元包括放置架、硅片花篮以及升降驱动单元,硅片花篮能够使得硅片呈一列插入硅片花篮内;输送单元用于将输送单元处的硅片输送至硅片花篮内。本申请的单晶硅片插片装置,能够很好地实现对单晶硅片的分片、输送和插片,提高了生产效率和产品质量。并且能够很好地实现对单晶硅片是否连片两个硅片叠加在一起输送的检测,从而避免连片造成的不利后果,并且检测过程中输送单元正常输送,在不存在连片的情况下,不影响插片的效率。

主权项:1.一种具有连片检测功能的单晶硅片插片装置,其特征在于,包括控制单元、报警单元、供料槽、安装于供料槽处的分片单元、用于输送硅片的输送单元以及用于接收硅片的接收单元,所述分片单元用于将供料槽处的硅片一片一片地分片至所述输送单元处;所述接收单元包括放置架、安装于放置架处的硅片花篮以及用于驱动放置架升降的升降驱动单元,所述硅片花篮能够使得硅片呈一列插入硅片花篮内;所述输送单元用于将输送单元处的硅片输送至所述硅片花篮内。

全文数据:

权利要求:

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