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申请/专利权人：上海广川科技有限公司

摘要：一种不等臂长的双臂机械手，包括本体、左手臂、右手臂，所述本体包括绕旋转轴同轴设置的左臂伸缩驱动轴、右臂伸缩驱动轴和手臂旋转驱动轴；所述本体内的所述左臂伸缩驱动轴、所述右伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以轴套轴的结构将所述本体内驱动单元的旋转运动传递到所述左手臂和所述的右手臂，实现所述左手臂和所述右手臂的伸缩和旋转运动，在所述左手大臂和左手小臂臂长不等时，或右手大臂和右手小臂臂长不等时，大臂和小臂传动副各带轮的传动比按推算出来的公式进行计算，不仅可以实现对单个工位和双工位进行晶圆取放片功能，还可以实现对水平间距可调、跨度大且存在高度差两工位晶圆的传输。

主权项：1.一种不等臂长的双臂机械手，其特征在于，包括本体、左手臂、右手臂，所述本体包括绕旋转轴同轴设置的左臂伸缩驱动轴、右臂伸缩驱动轴和手臂旋转驱动轴；所述本体内的所述左臂伸缩驱动轴、所述右臂伸缩驱动轴和所述手臂旋转驱动轴以轴套轴的结构将所述本体内驱动单元的旋转运动传递到所述左手臂和所述的右手臂，实现所述左手臂和所述右手臂的伸缩和旋转运动；其中，左大臂壳体可旋转地固定在所述左臂伸缩驱动轴上，左大臂驱动轮可旋转地固定在所述手臂旋转驱动轴上，左大臂肘轴固定在所述左大臂壳体上，左大臂从动轮可旋转地固定在所述左大臂肘轴上，左小臂壳体固定在所述左大臂从动轮上，左小臂驱动轮固定在所述左大臂肘轴上，左小臂腕轴固定在所述左小臂壳体上，所述左小臂从动轮可旋转地固定在所述左小臂腕轴上，左末端执行器固定在所述左小臂从动轮上；右大臂壳体可旋转地固定在所述右臂伸缩驱动轴上，右大臂驱动轮同样可旋转地固定在所述手臂旋转驱动轴上，右大臂肘轴固定在所述右大臂壳体上，右大臂从动轮可旋转地固定在所述右大臂肘轴上，右小臂壳体固定在所述右大臂从动轮上，右小臂驱动轮固定在所述右大臂肘轴上，右小臂腕轴固定在所述右小臂壳体上，右小臂从动轮可旋转地固定在所述右小臂腕轴上，右末端执行器固定在所述右小臂从动轮上；左手大臂和左手小臂臂长不等时，或右手大臂和右手小臂臂长不等时，所述大臂和小臂传动副各带轮的传动比按所给出的公式计算： 其中，R为半径，L为长度，Δi为影响伸缩运动路径直线度的参数。

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