龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：长江存储科技有限责任公司
摘要：本申请实施例公开了一种半导体器件的制作方法、半导体器件及存储系统。所述方法包括：提供堆叠结构，所述堆叠结构包括沿第一方向分布的器件区和连接区，所述堆叠结构包括沿第二方向交替堆叠的层间绝缘层和复合材料层，所述复合材料层包括位于所述连接区的位线；所述第二方向与所述第一方向相交叉；在所述连接区形成接触孔，所述接触孔从所述堆叠结构的第一侧沿所述第二方向延伸至所述位线；在所述接触孔中形成接触结构，且所述接触结构与所述位线连接。本申请实施例能够减小半导体器件的体积，提高存储密度，且简化制作工艺。
主权项：1.一种半导体器件的制作方法，其特征在于，所述方法包括：提供堆叠结构，所述堆叠结构包括沿第一方向分布的器件区和连接区，所述堆叠结构包括沿第二方向交替堆叠的层间绝缘层和复合材料层，所述复合材料层包括位于所述连接区的位线；所述第二方向与所述第一方向相交叉；在所述连接区形成接触孔，所述接触孔从所述堆叠结构的第一侧沿所述第二方向延伸至所述位线；在所述接触孔中形成接触结构，且所述接触结构与所述位线连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 长江存储科技有限责任公司 半导体器件的制作方法、半导体器件及存储系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号