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申请/专利权人：苏州芯默科技有限公司
摘要：本发明提供了一种晶圆退火设备，该设备包括：舱体，穿设于舱体内部的加热管组，以及设置于舱体侧部的供气板；加热管组包括：规则排布的多个加热管与分别套设于单个加热管外侧并与单个加热管形成环形通道的保护管，保护管两端轴向向外延伸出舱体侧部，加热管两端所形成的管线轴向向外延伸出保护管，供气板设置于保护管端部且管线自供气板伸出，供气板开设分别连通环形通道的开口，并于开口形成用于向环形通道输送气体的进气头，以由环形通道内流动的气体对加热管进行温度调整。通过本发明，实现对晶圆的均匀加热。
主权项：1.一种晶圆退火设备，其特征在于，包括：舱体，穿设于舱体内部的加热管组，以及设置于舱体侧部的供气板；所述加热管组包括：规则排布的多个加热管与分别套设于单个加热管外侧并与单个加热管形成环形通道的保护管，保护管两端轴向向外延伸出舱体侧部，加热管两端所形成的管线轴向向外延伸出保护管，所述供气板设置于保护管端部且所述管线自所述供气板伸出，所述供气板开设分别连通所述环形通道的开口，并于所述开口形成用于向所述环形通道输送气体的进气头，以由所述环形通道内流动的气体对所述加热管进行温度调整。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州芯默科技有限公司 一种晶圆退火设备
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