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固化膜形成方法、压印模具用基板的制造方法、压印模具的制造方法、凹凸结构体的制造方法、图案形成方法、硬掩模形成方法、绝缘膜形成方法和半导体装置的制造方法 

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申请/专利权人:大日本印刷株式会社

摘要:本发明的目的在于提供一种能够以更简便的方法形成能够用作保护膜等的固化膜的固化膜形成方法。上述方法包括:向基板3供给固化性树脂2的工序图1A,所述固化性树脂2包含分子中具有硅氧烷键且具有至少一个聚合性官能团的聚合性化合物、聚合引发剂和反应性交联剂;使上述固化性树脂固化的工序图1B;以及对上述固化后的固化性树脂实施等离子体处理或氧化处理,将上述固化性树脂中所含的有机成分分解,使硅氧烷聚合部残留,由此形成固化膜1的工序图1D。

主权项:1.一种固化膜形成方法,其包括:向基板供给固化性树脂的工序,所述固化性树脂包含分子中具有硅氧烷键且具有至少一个聚合性官能团的聚合性化合物、聚合引发剂和反应性交联剂;使所述固化性树脂固化的工序;以及对所述固化后的固化性树脂实施等离子体处理或氧化处理,将所述固化性树脂中所含的有机成分分解,使硅氧烷聚合部残留,由此形成固化膜的工序。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 大日本印刷株式会社 固化膜形成方法、压印模具用基板的制造方法、压印模具的制造方法、凹凸结构体的制造方法、图案形成方法、硬掩模形成方法、绝缘膜形成方法和半导体装置的制造方法

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