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申请/专利权人：飞卓科技(上海)股份有限公司
摘要：本申请公开了一种层流元件及气体质量流量控制器，层流元件包括中空本体，内部形成贯穿的第一通道；层流基体，套设于第一通道的至少部分行程内，且层流基体的至少部分外环面或外截面与第一通道的腔壁之间形成层流间隙，层流基体内形成有第二通道，层流基体上设有连通第二通道和层流间隙的导流孔；整流单元，套设于第二通道的至少部分行程内，整流单元包括若干整流通道，整流通道一端与导流孔连通，另一端与外部连通，以将流体分流导向至导流孔。本申请的层流元件具有结构简单，流道相对固定，成本较低的优势，并且可通过布置整流单元适配小量程和大量程的测量需求，通过调整层流片的数量和层流孔直径能够相应调整适配量程，通用性强。
主权项：1.一种层流元件，其特征在于，包括：中空本体，内部形成贯穿的第一通道；层流基体，套设于所述第一通道的至少部分行程内，且所述层流基体的至少部分外环面或外截面与所述第一通道的腔壁之间形成层流间隙，所述层流基体内形成有第二通道，所述层流基体上设有连通所述第二通道和所述层流间隙的导流孔；整流单元，套设于所述第二通道的至少部分行程内，所述整流单元包括若干整流通道，所述整流通道一端与所述导流孔连通，另一端与外部连通，以将流体分流导向至所述导流孔。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 飞卓科技(上海)股份有限公司 层流元件及气体质量流量控制器
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