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一种在线三维形貌精密测量方法及装置 

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申请/专利权人:天津大学

摘要:本发明公开了一种在线三维形貌精密测量方法及装置,测量方法包括如下步骤:1获取干涉图样;2图样预处理,对干涉图样进行预处理提高图样质量;3相位提取;采用相位数值重建方法获取干涉图样的相位分布,然后采用质量引导的相位解包裹算法进行相位解包裹,得到干涉图样的相位信息;4三维重建;结合光学系统的参数信息将相位信息转换为被测物的三维表面形貌,然后采用计算机视觉技术,通过曲面拟合,对三维表面形貌进行优化,提高三维表面形貌的表面细节表示能力。本发明实现非接触测量的同时,测量快速精准,满足在线三维测量的需求,具有重要的应用价值和实际意义。

主权项:1.一种在线三维形貌精密测量方法,其特征在于,包括如下步骤:1获取干涉图样;2图样预处理,对所述干涉图样进行预处理提高图样质量;3相位提取;采用相位数值重建方法获取所述干涉图样的相位分布,然后采用质量引导的相位解包裹算法进行相位解包裹,得到所述干涉图样的相位信息;4三维重建;结合光学系统的参数信息将所述相位信息转换为被测物的三维表面形貌,然后采用计算机视觉技术,通过曲面拟合,对所述三维表面形貌进行优化,提高所述三维表面形貌的表面细节表示能力。

全文数据:

权利要求:

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