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一种导热垫片、制造方法及其应用 

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申请/专利权人:湖北鼎汇微电子材料有限公司;湖北鼎龙汇盛新材料有限公司;湖北鼎龙控股股份有限公司

摘要:本发明涉及一种导热垫片、制备方法及其应用,导热垫片包括导热硅胶垫片基体,所述导热硅胶垫片基体的两面为氟塑离型膜,经转膜后,一面覆上或接触网格膜A、一面覆上或接触网格膜B;所述网格膜A选自复合网格膜,所述网格膜B选自复合网格膜或单层网格膜中的一种。本发明的导热垫片应用到等离子腔体蚀刻中,即导热垫片转移贴合到edgering上,贴合好导热垫片后的edgering再和tunableedgesheathring组装,组装后的整体再安装到Electrostaticchuck上,最终实现导热垫片和不同零部件的贴合。本发明的导热垫片具有贴合操作简单、贴合率高、导热性好和使用寿命长的特点。

主权项:1.一种导热垫片,其特征在于,包括导热硅胶垫片基体,所述导热硅胶垫片基体的两面为氟塑离型膜,经转膜后,一面覆上或接触网格膜A、一面覆上或接触网格膜B;所述网格膜A选自复合网格膜,所述网格膜B选自复合网格膜或单层网格膜中的一种。

全文数据:

权利要求:

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