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申请/专利权人：合肥晶合集成电路股份有限公司

摘要：本申请提供了一种机台的确定方法、任务的分派方法、系统、设备及介质。所述方法获取多个机台分别相对于多个品质参数的参数值；其中，所述多个机台对应指定加工工艺；将所述多个品质参数的参数值进行标准化处理，得到对应所述多个品质参数的标准值；其中，所述多个品质参数中的指定品质参数的标准值分为多个标准值集合，所述多个标准值集合包括第一标准值集合和第二标准值集合，所述第二标准值集合中的标准值大于所述第一标准值集合中的标准值，且所述第一标准值集合中的标准值与所述第二标准值集合中的标准值采用不同的标准化算法生成；基于所述多个品质参数的标准值，在所述多个机台中确定优选机台。可以较为准确的确定优选机台。

主权项：1.一种机台的确定方法，其特征在于，所述方法包括：获取多个机台分别相对于多个品质参数的参数值；其中，所述多个机台对应指定加工工艺；将所述多个品质参数的参数值进行标准化处理，得到对应所述多个品质参数的标准值；其中，所述多个品质参数中的指定品质参数的标准值分为多个标准值集合，所述多个标准值集合包括第一标准值集合和第二标准值集合，所述第二标准值集合中的标准值大于所述第一标准值集合中的标准值，且所述第一标准值集合中的标准值与所述第二标准值集合中的标准值采用不同的标准化算法生成；其中，所述指定品质参数包括缺陷计数增加值，将所述多个品质参数的参数值进行标准化处理，得到对应所述多个品质参数的标准值包括：针对至少部分品质参数的参数值进行正向化处理，得到至少部分品质参数对应的正向值；其中，所述至少部分品质参数包括所述指定品质参数；针对所述指定品质参数的正向值进行排序处理，得到正向值序列；在所述正向值序列中确定作为分段边界的边界值；其中，所述边界值将所述正向值序列划分为多个正向值集合，所述多个正向值集合包括第一正向值集合和第二正向值集合，且所述第二正向值集合中的正向值大于所述第一正向值集合中的正向值；分别针对所述第一正向值集合和所述第二正向值集合进行标准化处理，得到所述第一标准值集合和所述第二标准值集合；基于所述多个品质参数的标准值，在所述多个机台中确定优选机台；其中，所述优选机台执行所述指定加工工艺得出的工艺产品的品质，优于非优选机台执行所述指定加工工艺得出的工艺产品的品质。

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权利要求：

百度查询： 合肥晶合集成电路股份有限公司 机台的确定方法、任务的分派方法、系统、设备及介质