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申请/专利权人：深圳市广立进科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种用于芯片加工的铣电阻机，包括机台，机台的顶面设有龙门架，龙门架上设有三轴移动机构，三轴移动机构上设有主轴，主轴的底端设有刀具，龙门架的下方设有Z轴移动机构，Z轴移动机构上设有探测板，探测板与主轴位于龙门侧的同一侧，且探测板上设有定制探针，龙门架对应探测板一侧设有Y轴移动机构，Y轴移动机构上设有X轴移动机构，X轴移动机构上设有吸盘工作台。本实用新型提供了一种用于芯片加工的铣电阻机，能够对芯片单体进行加工及检测，自动化程度高，节约了人力物力，降低了生产成本。
主权项：1.一种用于芯片加工的铣电阻机，其特征在于，包括机台，所述机台的顶面设有龙门架，所述龙门架上设有三轴移动机构，所述三轴移动机构上设有主轴，所述三轴移动机构用于驱动主轴沿三维方向上作往复运动，所述主轴的底端设有刀具，所述龙门架的下方设有Z轴移动机构，所述Z轴移动机构上设有探测板，所述Z轴移动机构用于驱动探测板沿Z轴方向作往复运动，所述探测板与主轴位于龙门侧的同一侧，且所述探测板上设有定制探针，所述龙门架对应探测板一侧设有Y轴移动机构，所述Y轴移动机构上设有X轴移动机构，所述Y轴移动机构用于驱动X轴移动机构沿Y轴方向作往复运动，所述X轴移动机构上设有吸盘工作台，所述X轴移动机构用于驱动吸盘工作台沿X轴方向作往复运动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市广立进科技有限公司 一种用于芯片加工的铣电阻机
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