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摘要：本申请公开了一种双工位寻边机构及晶圆定位装置，晶圆定位装置包括双工位寻边机构、工作腔和晶圆传送机构，双工位寻边机构包括第一载具、第一旋转驱动组件、第二载具、第二旋转驱动组件和检测组件，第一载具和第二载具用于承接晶圆，载具接取晶圆后，通过对应的旋转驱动组件驱使其携晶圆旋转，待晶圆旋转至其上的缺口处于检测工位时，检测组件能够捕获缺口信息，从而确认晶圆被调整为预设状态；第一载具包括第一连接部和托爪，托爪设于第一连接部的下表面，第二载具包括第二连接部和顶柱，顶柱设于第二连接部的上表面，两组载具沿竖直方向相对设置、使得两片待寻边的晶圆能够就近安置，既能够优化设备结构，又有利于提高寻边效率。
主权项：1.一种双工位寻边机构，其特征在于，包括：第一载具（10）和第一旋转驱动组件（30），所述第一载具（10）用于承接晶圆，所述第一旋转驱动组件（30）用于驱使所述第一载具（10）旋转；第二载具（20）和第二旋转驱动组件（40），所述第二载具（20）用于承接晶圆，所述第二旋转驱动组件（40）用于驱使所述第二载具（20）旋转；其中，所述第一载具（10）包括：第一连接部（11），用于连接所述第一旋转驱动组件（30）；至少两个托爪（12），至少两个所述托爪（12）间隔设置在所述第一连接部（11）的下表面、并能够配合承托一片晶圆；所述第二载具（20）包括：第二连接部（21），用于连接所述第二旋转驱动组件（40）；至少两个顶柱（22），至少两个所述顶柱（22）间隔设置在所述第二连接部（21）的上表面、并能够配合支撑一片晶圆；所述第一载具（10）和所述第二载具（20）沿竖直方向相对设置；所述双工位寻边机构还包括检测组件（50），所述检测组件（50）用于检测晶圆的缺口；寻边过程中，所述第一旋转驱动组件（30）驱使所述第一载具（10）旋转至晶圆的缺口位于第一预设位置时，或者，所述第二旋转驱动组件（40）驱使所述第二载具（20）旋转至晶圆的缺口位于第二预设位置时，所述检测组件（50）能够检测到缺口、从而确认晶圆实现寻边定位。
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权利要求：
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