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摘要：本发明公开了一种基于非晶氧化铜氧化镓异质pn结紫外探测器及其制备方法，该器件结构自下而上依次为c面蓝宝石衬底c‑Al2O3、Ga2O3薄膜、非晶CuO薄膜和TiAu电极对。采用脉冲激光沉积方法制备：在c‑Al2O3衬底上采用PLD方法制备Ga2O3薄膜，然后在较低温度下沉积一层非晶CuO薄膜，形成CuOGa2O3异质pn结，最后在薄膜表面镀上TiAu电极完成异质pn结紫外探测器的制作。本发明的紫外探测器通过构建CuOGa2O3异质结，利用异质结界面处的势垒及内建电场，在实现自供电功能的同时，大幅降低器件的暗电流；且制备方法简单、重复性高、成本低廉、响应速度快。
主权项：1.一种基于非晶氧化铜氧化镓异质pn结紫外探测器，其特征在于：包括：c-Al2O3衬底；设置在所述c-Al2O3衬底上的Ga2O3膜层：设置在所述Ga2O3膜层上的非晶CuO膜层和第一TiAu电极；设置在所述非晶CuO膜层上的第二TiAu电极。
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百度查询： 浙江大学 一种基于非晶氧化铜/氧化镓异质pn结紫外探测器及其制备方法
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