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申请/专利权人：江苏鲁汶仪器股份有限公司
摘要：本发明公开了一种用于静电吸盘上晶圆位置偏移的检测装置和检测方法，检测装置包括射频信号生成模块、电感L、电容C1、电容C2、电容C3、射频检测器、电阻R1、第一高压电源、射频匹配器、电极偏压电源、电阻R2和第二高压电源；射频检测器用于检测电容C2与电容C3连接点处的射频信号电压；如果射频检测器检测到的射频信号电压与基准电压之间的差值绝对值大于预设差值阈值，则判断晶圆位置已偏移，并且根据差值绝对值进一步判断偏移量。本发明能够在刻蚀作业过程中精确检测晶圆的位置是否偏移，并对偏移量进行估算，提高刻蚀精度和作业成功率。
主权项：1.一种用于静电吸盘上晶圆位置偏移的检测装置，其特征在于，所述检测装置包括射频信号生成模块、电感、第一电容、第二电容、第三电容、射频检测器、第一电阻、第一高压电源、射频匹配器、电极偏压电源、第二电阻和第二高压电源；所述射频信号生成模块、电感和第一电容依次连接，第一电容不与电感连接的一端耦合连接至静电吸盘的正电极层，静电吸盘的负电极层通过第二电容与第三电容耦合连接，第三电容不与第二电容连接的一端接地；所述静电吸盘的正电极层通过第一电阻与第一高压电源的正极连接，第一高压电源的负极接地；所述静电吸盘的负电极层通过第二电阻与第二高压电源的负极连接，第二高压电源的正极接地；所述静电吸盘的电极层下端通过射频电缆与射频匹配器的一端连接，射频匹配器的另一端与电极偏压电源相连，电极偏压电源的另一端接地；所述射频信号生成模块用于施加一个与电极偏压电源频率不相同的射频信号至电感；所述射频检测器连接在第二电容与第三电容之间，用于检测第二电容与第三电容连接点处的射频信号电压；如果射频检测器检测到的射频信号电压与基准电压之间的差值绝对值大于预设差值阈值，则判断晶圆位置已偏移，并且根据差值绝对值进一步判断偏移量；其中，基准电压是晶圆处于标准位置时射频检测器检测到的射频信号电压。
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权利要求：
百度查询： 江苏鲁汶仪器股份有限公司 一种用于静电吸盘上晶圆位置偏移的检测装置和检测方法
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