龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海派拉纶生物技术股份有限公司
摘要：本发明涉及镀覆技术领域，具体涉及一种用于微型阵列内腔器件的派瑞林镀覆装置，包括：沉积室和镀覆工装；该镀覆工装安装在沉积室的转盘上随着转盘一并转动，镀覆工装采用网状的支撑结构，有利于提高气流通过的均匀性，同时网状的支撑结构上设有多个呈圆周阵列排布的定位标识，方便对应的微型阵列内腔器件均匀放置在镀覆工装上，同时镀覆工装基本与进气口和出气口位于同一水平面，进一步增加气流均匀性，有利于提高微型阵列内腔器件内的膜层沉积均匀性；此外通过挡圈进行保护，防止微型阵列内腔器件被甩出，提高了微型阵列内腔器件在沉积过程中的安全性。
主权项：1.一种用于微型阵列内腔器件的派瑞林镀覆装置，其特征在于，包括：沉积室；所述沉积室内设置有转盘，所述转盘上设置有镀覆工装，所述镀覆工装固定在所述转盘上表面靠近边缘的位置，所述镀覆工装相对于所述转盘偏心安装；所述转盘上对应于用于固定微型阵列内腔器件的区域设置有通气孔，所述通气孔贯穿于所述转盘的上表面和下表面；所述镀覆工装包括支撑网和挡圈，所述挡圈设置在所述支撑网的周围，所述支撑网上分布有多个用于微型阵列内腔器件定位的定位标识，多个所述定位标识在所述支撑网上排布形成多个同心的圆环，每个所述圆环中的多个所述定位标识均呈圆周阵列排布；所述转盘上的多个通气孔均匀分布，且所述通气孔在所述支撑网上的正投影均位于相邻的定位标识之间；所述支撑网为圆盘形，所述支撑网的圆心与各所述圆环的圆心均重叠，所述支撑网为40目~100目；所述沉积室的两侧分别设置有进气口和出气口，所述转盘与所述进气口和所述出气口位于同一水平面；所述进气口与所述转盘之间设置有双层筛网和挡板，所述双层筛网和挡板设置在所述沉积室内靠近所述进气口的位置，所述双层筛网位于所述挡板和所述进气口之间，用于分散进入到所述沉积室的气流；所述沉积室的直径大于或者等于400mm，所述镀覆工装的直径与所述沉积室的直径的百分比为30%~40%。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海派拉纶生物技术股份有限公司 用于微型阵列内腔器件的派瑞林镀覆装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号