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一种半导体边缘检测方法 

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申请/专利权人:宁波丰工创润智能科技有限公司

摘要:本发明公开了一种半导体边缘检测方法,步骤一:输入边缘检测的对象,即实验室显微镜下拍摄的铝、钛、钽、铜、钨金属微观晶粒图;步骤二:对图像进行分析,在进行边缘检测之前需要对模型训练所需图片使用LabelMe软件中的线段标注方法,对图片中的边源信息进行标注并裁剪为实际训练步骤所需图片大小;步骤三:使用UNet模型结合通道注意力机制SE以及空洞空间金字塔池化ASPP进行边缘检测;步骤四:原图通过步骤三包含的技术进行处理后,输出并展示;本发明通过使用Unet模型结合注意力机制及空洞空间金字塔池化进行图像边缘检测;解决了在微观分析过程中有图片作为辅证但准确性不高以及准确性高但没有图片作为辅证的问题。

主权项:1.一种半导体边缘检测方法,其特征在于:步骤一:输入边缘检测的对象,即实验室显微镜下拍摄的铝、钛、钽、铜、钨金属微观晶粒图;步骤二:对图像进行分析,在进行边缘检测之前需要对模型训练所需图片使用LabelMe软件中的线段标注方法,对图片中的边源信息进行标注并裁剪为实际训练步骤所需图片大小;步骤三:使用UNet模型结合通道注意力机制SE以及空洞空间金字塔池化ASPP进行边缘检测,在每个阶段下采样的第二个卷积层之后添加通道注意力机制SE,去除UNet模型通道中的冗余信息,使UNet模型更专注于有效信息;在UNet模型的编码和解码网络之间增加跳连接方式将两个网络中的特征进行通道拼接来提高边缘检测准确性,同时在编码与解码网络之间增加空洞空间金字塔池化ASPP,进行特征融合,使模型能充分结合语义信息和特征信息,提高模型的检测能力;步骤四:原图通过步骤三包含的技术进行处理后,输出并展示。

全文数据:

权利要求:

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