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申请/专利权人:华中科技大学
摘要:本发明公开了一种碲半导体薄膜红外探测器件,属于红外探测技术领域,能够解决当前Te短波红外探测器难以兼顾暗电流、响应度以及CMOS兼容性的技术难题。所述碲半导体薄膜红外探测器件包括:第一电极,第一电极为透明电极;电子传输层,设置在第一电极上;碲薄膜层,设置在电子传输层上;第二电极,设置在碲薄膜层上。本发明用于制作红外探测器件。
主权项:1.一种碲半导体薄膜红外探测器件,其特征在于,包括:第一电极,所述第一电极为透明电极;电子传输层,设置在所述第一电极上;碲薄膜层,设置在所述电子传输层上;第二电极,设置在所述碲薄膜层上;所述第一电极为ITO薄膜;所述电子传输层为氧化锌层;所述第二电极为金电极。
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百度查询: 华中科技大学 一种碲半导体薄膜红外探测器件
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