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申请/专利权人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
摘要：本申请涉及电容传感技术领域，具体为一种微小位移与姿态的读取方法及存储介质。该微小位移与姿态的读取方法采用微小位移与姿态的测量系统执行以下步骤：获取电极板与测试质量块之间的当前差分电容；将所述当前差分电容转换为当前电压；基于位移到电压的增益系数和所述当前电压获得所述测试质量块的当前位移和当前姿态，可以减小链路中噪声对微小位移与姿态的影响，获得低时延和线性相位的位移信息。
主权项：1.一种微小位移与姿态的读取方法，其特征在于，采用微小位移与姿态的测量系统执行以下步骤：搭建所述微小位移与姿态的测量系统，具体包括：将测试质量块固定在悬挂结构上，电极板分别设置至六自由度微位移移动平台上，其中所述电极板与所述六自由度微位移移动平台相互绝缘；设置电容表读取所述测试质量块和所述电极板之间的差分电容；将前端模拟电路的输入端连接所述电极板，获得所述差分电容对应的电压模拟信号；控制器控制六自由度微位移移动平台移动；获取电极板与测试质量块之间的当前差分电容；将所述当前差分电容转换为当前电压，具体包括：采用前端模拟电路获得所述当前差分电容对应的电压模拟信号；经过模数转换后得到离散电压信号；采用FIR滤波器对所述离散电压信号进行滤波处理，得到滤波电压信号；基于正参考电压和负参考电压将所述滤波电压信号转换为所述当前电压，其中，和分别表示正参考电压和负参考电压，为离散电压信号的长度，D表示滤波电压信号；标定所述位移到电压的增益系数，具体包括：控制所述六自由度微位移移动平台等间隔移动多个位置点，并记录所述位置点对应的差分电容和电压信号；基于所述位置点、所述差分电容和所述电压信号分别获得位移到电容的增益系数，电容到电压的增益系数；基于所述位移到电容的增益系数和所述电容到电压的增益系数获得所述位移到电压的增益系数；基于位移到电压的增益系数和所述当前电压获得所述测试质量块的当前位移和当前姿态。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 微小位移与姿态的读取方法及存储介质
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