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申请/专利权人：上海复感科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种MEMS芯片用工装，涉及MEMS芯片生产相关技术领域，包括底托板，所述底托板的顶部活动搭接有定位板，定位板上开设有多个矩形阵列排布的定位孔，定位孔均用于放置单块MEMS芯片，定位板和底托板之间安装有四个组装组件，本实用新型，通过设置组装组件，进而使得底托板和定位板之间能够便于组装或拆卸，进而使得定位孔中存在的污垢能够便于清理干净，避免污垢地存在不便清出，而污染放置地MEMS芯片，其次，通过设置可拆卸式磁吸组件，能够便于对顶压板及其底托板之间进行吸附固定时，且使得多个塞块能够将定位孔进行塞住，从而达到密封，且使得MEMS芯片在放置于定位孔中时能够防止灰尘进入。
主权项：1.一种MEMS芯片用工装，包括底托板，其特征在于，所述底托板的顶部活动搭接有定位板，定位板上开设有多个矩形阵列排布的定位孔，定位孔均用于放置单块MEMS芯片，定位板和底托板之间安装有四个组装组件，定位板的上方设有顶压板，顶压板的底端固接有多个矩形阵列排布的塞块；四个可拆卸式磁吸组件，其分别安装于所述顶压板的底端四周，且均与组装组件之间相连。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海复感科技有限公司 一种MEMS芯片用工装
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