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申请/专利权人：广东气派科技有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆贴膜设备，其包括工作台、临近所述工作台设置的机械臂、设置于所述工作台上方的膜传送装置、脱模机构以及设置于所述工作台侧面且朝向所述脱模机构设置的鼓风装置，所述机械臂用于将待贴膜的晶圆移动到所述工作台上，所述膜传送装置用于使装载离心膜的离心膜载体在设定的路径上运动并经过所述脱模机构，所述脱模机构用于在离心膜经过时使离心膜与离心膜载体分离并覆盖所述工作台上的晶圆，所述鼓风装置用于对刚刚与所述离心膜载体分离的离心膜边缘吹风，使得离心膜快速脱离离心膜载体。采用本实用新型的晶圆贴膜设备，可以减少贴膜过程中的原料浪费和制程不良问题。
主权项：1.一种晶圆贴膜设备，其特征在于，包括工作台、临近所述工作台设置的机械臂、设置于所述工作台上方的膜传送装置、脱模机构以及设置于所述工作台侧面且朝向所述脱模机构设置的鼓风装置，所述机械臂用于将待贴膜的晶圆移动到所述工作台上，所述膜传送装置包括物料轴和载体收集轴，所述物料轴上放置卷材物料，所述卷材物料包括层叠贴合的离心膜载体和离心膜，所述离心膜分段粘贴于所述离心膜载体上，所述载体收集轴通过所述离心膜载体与所述物料轴相连接，所述脱模机构为一位于所述载体收集轴和所述物料轴之间的夹片，当所述离心膜载体通过所述夹片时，运动方向发生转折，从而使得所述离心膜脱离所述离心膜载体，所述鼓风装置用于对刚刚与所述离心膜载体分离的离心膜边缘吹风，使得离心膜快速脱离离心膜载体。
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权利要求：
百度查询： 广东气派科技有限公司 一种晶圆贴膜设备
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