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一种单片集成GaN CMOS反相器及其制备方法 

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摘要:本发明公开了一种单片集成GaNCMOS反相器及其制备方法,该反相器包括T型FIN结构p‑FET和HEMT。T型FIN结构p‑FET和HEMT共享缓冲层;缓冲层叠加于衬底之上;T型FIN结构p‑FET和HEMT之间设有的隔离槽深入至缓冲层的上部;T型FIN结构p‑FET的栅电极和HEMT的栅电极通过第一金属互联条连接;T型FIN结构p‑FET的漏电极和HEMT的漏电极通过第二金属互联条连接。通过T型FIN结构p‑FET的源漏沟道设有的多个T型FIN结构可以增强栅级可控性和电流驱动能力,降低器件功耗。通过调节T型FIN结构的FIN宽,可以形成增强型器件,还可以调控阈值电压进而改善反相器的性能。

主权项:1.一种单片集成GaNCMOS反相器,其特征在于,所述单片集成GaNCMOS反相器包括:T型FIN结构p-FET和HEMT;所述T型FIN结构p-FET和所述HEMT共享缓冲层;所述缓冲层叠加于衬底之上;所述T型FIN结构p-FET和所述HEMT之间设有隔离槽;所述隔离槽深入至所述缓冲层的上部;所述T型FIN结构p-FET的源漏沟道设有多个T型FIN结构;所述T型FIN结构p-FET的栅电极和所述HEMT的栅电极通过第一金属互联条连接;所述T型FIN结构p-FET的漏电极和所述HEMT的漏电极通过第二金属互联条连接。

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