龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
摘要：本发明涉及一种芯棒沉积速度稳定控制方法及控制系统，其包括以下步骤：根据设定的生长速度与激光功率的函数关系，实时换算激光功率对应的生长速度；根据历史时间段内的生长速度，拟合沉积速度与生长速度的函数关系，并计算出当前激光功率下的沉积速度；控制沉积引杆按照拟合出的沉积速度提升；按照上述步骤依次循环往复拟合沉积速度，并控制沉积引杆的提升速度，直至沉积结束。由于采用历史生长速度进行函数关系拟合，可计算出当前激光功率下的沉积速度，降低外界条件扰动引起的沉积引杆提升速度波动幅度，提高沉积速度稳定性，且可逐步调整函数关系，优化沉积速度稳定性。
主权项：1.一种芯棒沉积速度稳定控制方法，其特征在于，其包括以下步骤：S1：根据设定的生长速度与激光功率的函数关系，实时换算激光功率对应的生长速度；S2：根据历史时间段内的生长速度，拟合沉积速度与生长速度的函数关系，并计算出当前激光功率下的沉积速度；S3：控制沉积引杆按照拟合出的沉积速度提升；S4：按照上述步骤S1、S2、S3依次循环往复拟合沉积速度，并控制沉积引杆的提升速度，直至沉积结束；在所述控制沉积引杆按照拟合出的沉积速度提升之后，还包括：判断拟合出的沉积速度是否满足控制目标范围；若是，则按照上述步骤S1、S2、S3依次循环往复拟合沉积速度，并控制沉积引杆的提升速度；否则，调节芯灯流量，直至拟合出的沉积速度满足控制目标范围；通过调节芯灯流量，记录芯灯流量的调节幅度值与拟合出的沉积速度的变化幅度值，并进行最小二乘法拟合形成拟合出的沉积速度与芯灯流量函数关系；所述调节芯灯流量，包括：根据拟合出的沉积速度与芯灯流量函数关系，计算将拟合出的沉积速度调整至控制目标范围的中心值时芯灯流量的调节幅度值；按照计算出的芯灯流量的调节幅度值来调节芯灯流量。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 武汉烽火锐拓科技有限公司 一种芯棒沉积速度稳定控制方法及控制系统
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号