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一种大电流瞬态抑制组合器件及其成型方法 

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申请/专利权人:四川上特科技有限公司

摘要:一种大电流瞬态抑制组合器件及其成型方法,涉及半导体器件领域,器件包括:顶面设有N‑外延层的P++半导体衬底;多个第一P++隔离阱;D1二极管;多个互相串联的D3二极管;D2二极管和或D4二极管;方法包括步骤:准备P++半导体衬底;在P++半导体衬底表面形成N‑外延层后进行下一步,或在P++半导体衬底表面形成N‑外延层后,在N‑外延层注入N型离子形成N++埋层,再在两个第一P++隔离阱之间注入N型离子形成多个N++阱,然后再进行下一步;对N‑外延层注入P型离子形成第一P++隔离阱;在第一P++隔离阱之间注入N型离子形成多个N+区;在部分第一P++隔离阱之间注入P型离子形成多个P+区;用导线连接各部件。实现正向导通开启电压的叠加,更易控制钳位电压。

主权项:1.一种大电流瞬态抑制组合器件,其特征在于,包括:P++半导体衬底(1),顶面设有N-外延层(11),P++半导体衬底(1)底部设有GND端;第一P++隔离阱(2),有多个,形成于N-外延层(11)中并延伸至P++半导体衬底(1);D1二极管(3),包括设于N-外延层(11)中并位于两个第一P++隔离阱(2)之间的第一N+区(31),第一N+区(31)设有IO口;D3二极管(5),有多个,且依次串联,包括设于N-外延层(11)中并位于两个第一P++隔离阱(2)之间的第二P+区(51)和两个第三N+区(52),第三N+区(52)分别间隔位于第二P+区(51)两侧,前一个D3二极管(5)两个第三N+区(52)与后一个D3二极管(5)的第二P+区(51)通过导线连接,最后一个D3二极管(5)的两个第三N+区(52)通过导线与一个第一P++隔离阱(2)连接;D2二极管(4)和或D4二极管模块(6);其中,D2二极管(4)包括设于N-外延层(11)中并位于两个第一P++隔离阱(2)之间的第一P+区(41),第一P+区(41)两侧还分别设有第二N+区(42);D4二极管模块(6)包括N++埋层(61)和N++阱(62),N++埋层(61)位于N-外延层(11)中并扩散至P++半导体衬底(1)中,且位于两个第一P++隔离阱(2)之间,N++阱(62)有多个,位于N-外延层(11)中且处于第一P++隔离阱(2)之间,N++阱(62)一端扩散至N++埋层(61)中,相邻两个N++阱(62)之间还设有第三P+区(63);当只有D2二极管(4)时,D2二极管(4)与D1二极管(3)串联,第一N+区(31)与D2二极管(4)的第一P+区(41)之间通过导线连接,第二P+区(51)与两个第二N+区(42)通过导线连接,其中一个第二N+区(42)设有VDD口;当只有D4二极管模块(6)时,第一N+区(31)通过导线与第三P+区(63)连接,第二P+区(51)通过导线同时与多个N++阱(62)连接,其中一个N++阱(62)设有VDD口;当D2二极管(4)和D4二极管模块(6)同时存在时,D4二极管模块(6)位于D2二极管(4)与D1二极管(3)之间,第一N+区(31)同时与D2二极管(4)的第一P+区(41)、第三P+区(63)之间通过导线连接,最靠近D2二极管(4)的第二P+区(51)通过导线同时与第二N+区(42)、N++阱(62)连接,其中一个第二N+区(42)设有VDD口。

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