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基于零开启GaAs HEMT的整流器及制备方法 

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申请/专利权人:四川大学;西安空间无线电技术研究所

摘要:本发明公开了基于零开启GaAsHEMT的整流器,整流器的晶圆包括依次层叠连接的n+AlGaAs势垒层、未掺杂AlGaAs隔离层、GaAs缓冲层和衬底,所述n+AlGaAs势垒层的上表面左右两侧设置有GaAs帽层。本发明的器件能够实现超低输入功率‑30dBm附近的高效率整流,实现高效率的超低微波射频能量收集系统,同时解决了MOS的外加栅控电压耗电远大于系统接收功率的负功率转化问题。

主权项:1.基于零开启GaAsHEMT的整流器,其特征在于,所述整流器的晶圆包括依次层叠连接的n+AlGaAs势垒层、未掺杂AlGaAs隔离层、GaAs缓冲层和衬底,所述n+AlGaAs势垒层的上表面左右两侧设置有GaAs帽层;所述两侧的GaAs帽层上分别设置有源极和漏极,所述n+AlGaAs势垒层上设置有栅极,所述栅极位于源极和漏极之间,栅极与漏极或源极连接;所述源极和漏极均包括依次设置的合金层、隔离层和导电层,所述合金层由镍、金和锗组成,隔离层材质为镍,导电层材质为金;栅极由镍、钛和金堆叠组成。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 四川大学 西安空间无线电技术研究所 基于零开启GaAs HEMT的整流器及制备方法

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