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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明提供一种打火检测设备以及方法、半导体工艺设备，其中打火检测设备包括声波采集装置和传输装置：其中，打火检测设备包括声波采集装置和传输装置：其中，声波采集装置设置在工艺腔室内部，用于采集工艺腔室内部的声波信号；传输装置穿设在工艺腔室的侧壁中且与工艺腔室侧壁活动密封连接；传输装置的位于工艺腔室内部的一端与声波采集装置连接，且传输装置能够带动声波采集装置移动至工艺腔室内的不同位置处。这样，根据采集到的声波信号的强度以及声波采集装置的位置能够确定打火现象发生的位置，从而便于操作人员在后续开腔检查过程中能够直接确定打火现象发生的位置，提高检修效率。
主权项：1.一种打火检测设备，应用于半导体工艺设备的工艺腔室；其特征在于，所述打火检测设备包括声波采集装置和传输装置：其中，所述声波采集装置设置在所述工艺腔室内部，用于采集所述工艺腔室内部的声波信号；所述传输装置穿设在所述工艺腔室的侧壁中且与所述工艺腔室侧壁活动密封连接；所述传输装置的位于所述工艺腔室内部的一端与所述声波采集装置连接，所述传输装置能够带动所述声波采集装置移动至所述工艺腔室内的不同位置处。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 打火检测设备以及方法、半导体工艺设备
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