龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：江苏爱矽半导体科技有限公司
摘要：本发明提供了一种半导体晶圆片承托装置，属于半导体加工技术领域，包括清洗箱，所述清洗箱连接有排水管、电机、进水管和密封挡板，所述清洗箱的内部设有过滤板和引流板，还包括：压紧组件，所述压紧组件通过自身移动完成晶圆的固定；承托组件，所述承托组件利用压紧组件的辅助进一步提高对晶圆的防护定位。该发明有益效果：通过承托组件和压紧组件的相互作用配合可完成对晶圆片整体固定，同时在清洗的过程中可实现晶圆片自身的轻微抖动，从而提高直接清洗的面积，增加效果的同时保证对晶圆片表面所附着的杂质的清除，并且随着清洗结束后通过离心力的作用可快速完成晶圆片表面水分的去除，从而有效避免水痕的产生，提高生产质量。
主权项：1.一种半导体晶圆片承托装置，包括清洗箱1，所述清洗箱1连接有排水管2、电机3、进水管4和密封挡板5，所述清洗箱1的内部设有过滤板8和引流板9，其特征在于，还包括：压紧组件6，所述压紧组件6位于清洗箱1的内部，所述压紧组件6通过自身移动完成晶圆的固定；承托组件7，所述承托组件7位于清洗箱1的内部，所述承托组件7利用压紧组件6的辅助进一步提高对晶圆的防护定位。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏爱矽半导体科技有限公司 一种半导体晶圆片承托装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号