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申请/专利权人：雅马哈智能机器控股株式会社;学校法人东京理科大学
摘要：本发明的产品保持装置包括：载台32，载置产品；以及振动元件38，对被载置于所述载台32的所述产品100赋予超声波振动，使掉落下来的异物110在远离所述产品100的表面的位置飘起。而且，产品保持装置30还包括：移送机构42，将飘起的所述异物110移送至俯视时处于所述产品100的外侧的位置；以及回收机构50，回收所移送的所述异物110。
主权项：1.一种产品保持装置，其特征在于包括：载台，载置产品；以及振动源，对被载置于所述载台的所述产品赋予超声波振动，使掉落下来的异物在远离所述产品的表面的位置飘起。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 雅马哈智能机器控股株式会社 学校法人东京理科大学 产品保持装置、产品保持方法和半导体装置制造装置
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