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申请/专利权人：稳晟材料科技股份有限公司
摘要：本发明提供了一种碳化硅晶体长晶装置，包括：退火单元、长晶单元、连接该退火单元与该长晶单元的气氛控制单元及传输系统，该气氛控制单元用以提供低水、氧、氮的气体环境；该传输系统将经由退火单元进行高温纯化后的复数个目标物输送至气氛控制单元，并且通过在该气氛控制单元内将目标物包含的碳化硅晶种及碳化硅粉末组装于石墨坩埚内并覆盖断热材料以构成腔体后，再由该传输系统将该腔体输送至该长晶单元进行长晶制程。
主权项：1.一种碳化硅晶体长晶装置，其特征在于，包括：一退火单元，用以对复数个目标物进行高温纯化制程；一长晶单元，用以对该目标物包含的腔体、置入该腔体的石墨坩埚内的碳化硅晶种及碳化硅粉末进行长晶制程；一气氛控制单元，连接该退火单元与该长晶单元，并且提供低水、氧、氮的气体环境，其中，经由该退火单元完成高温纯化后的该目标物被输送至该气氛控制单元，并且在该气氛控制单元内将该目标物组装完成后，再将该目标物输送至该长晶单元进行该长晶制程。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 稳晟材料科技股份有限公司 碳化硅晶体长晶装置
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