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电子部件 

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申请/专利权人:株式会社村田制作所

摘要:电子部件(102)具备半导体基板(1)、形成在半导体基板(1)的表层侧的绝缘体层(2)、形成在绝缘体层(2)内的内部电极(3A1、3A2、3B)、形成在半导体基板(1)的表层侧的由热氧化膜形成的电介质层(4)、在比内部电极(3A1、3A2)靠表层侧的位置与内部电极(3A1、3A2)导通的引出电极(5A1、5A2)、在比内部电极(3B)靠表层侧的位置与内部电极(3B)导通的引出电极(5B1、5B2)、在比引出电极(5A1、5A2)靠表层侧的位置与引出电极(5A1、5A2)导通的外部电极(6A)、以及在比引出电极(5B1、5B2)靠表层侧的位置与引出电极(5B1、5B2)导通的外部电极(6B)。在与半导体基板的面垂直的方向上观察时,所述第二引出电极形成在所述第二内部电极的内侧。

主权项:1.一种电子部件,具备:半导体基板;绝缘体层,其形成在所述半导体基板的表层侧;内部电极,其形成在所述绝缘体层内;电介质层,其形成在所述半导体基板的表层侧;引出电极,其在比所述内部电极靠表层侧的位置与所述内部电极导通;以及外部电极,其在比所述引出电极靠表层侧的位置与所述引出电极导通,所述内部电极构成为包括与所述半导体基板导通的第一内部电极和形成在所述电介质层的表层侧的第二内部电极,所述引出电极构成为包括与所述第一内部电极导通的第一引出电极和与所述第二内部电极导通的第二引出电极,所述外部电极构成为包括与所述第一引出电极导通的第一外部电极和与所述第二引出电极导通的第二外部电极,在与所述半导体基板的面垂直的方向上观察时,所述第二引出电极形成在所述第二内部电极的内侧。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 株式会社村田制作所 电子部件

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