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申请/专利权人：集美大学
摘要：本发明公开了一种基于AIScN压电薄膜的异质声学结构的表面声波氢气传感器，包括输入输出叉指换能器，氢敏材料，反射栅，全向带隙声反射器，采用C轴取向的AIScN薄膜，硅衬底；其中氢敏材料沉积在两组换能器中间的传输区域上，通过吸附氢气引起薄膜质量与密度变化从而改变最终输出频率，从输出频率变化可以解耦氢气浓度信息。本发明采用了新型异质声学层结构对声波进行能量约束，通过减小插入损耗来设计具有高Q值的表面声波氢气传感器。
主权项：1.一种基于AIScN压电薄膜的异质声学结构的表面声波氢气传感器，包括：沉积在压电薄膜上表面两侧的叉指换能器与反射栅、AIN压电薄膜、氢敏材料、全向带隙声反射器和Si衬底；其特征在于，当氢敏材料对氢分子实现可逆物理吸附时，通过质量负载变化，改变表面声波的传播速度，引起输出信号的频移，从输出信号的变化中解耦出氢气浓度变化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 集美大学 一种基于AIScN压电薄膜的异质声学结构的表面声波氢气传感器
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