买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!
申请/专利权人:通富微电子股份有限公司
摘要:本公开的实施例提供一种异质芯片封装方法和结构。方法包括:提供硅片、基板和多组异质芯片;其中,异质芯片包括存储芯片和系统级芯片;在硅片上形成多个硅通孔,并在硅片的第一表面形成第一重布线层;将第一组异质芯片的正面设置于第一重布线层,并塑封第一组异质芯片;在硅片的第二表面形成第二重布线层,在第二重布线层上设置第二组异质芯片和塑封层,并塑封层中形成塑封通孔;在塑封层背离硅片的表面形成第三重布线层,并在第三重布线层上形成焊球;将第三重布线层通过焊球键合于基板。本公开的实施例在降低成本的同时,保持了对位精度和稳定性,达成了全方位的高效数据流通。
主权项:1.一种异质芯片封装方法,其特征在于,所述方法包括:提供硅片、基板和多组异质芯片;其中,所述异质芯片包括存储芯片和系统级芯片;在所述硅片上形成多个硅通孔,并在所述硅片的第一表面形成第一重布线层;将第一组所述异质芯片的正面设置于所述第一重布线层,并塑封第一组所述异质芯片;在所述硅片的第二表面形成第二重布线层,在所述第二重布线层上设置第二组所述异质芯片和塑封层,并在所述塑封层中形成塑封通孔;在所述塑封层背离所述硅片的表面形成第三重布线层,并在所述第三重布线层上形成焊球;将所述第三重布线层通过所述焊球键合于所述基板。
全文数据:
权利要求:
百度查询: 通富微电子股份有限公司 一种异质芯片封装方法和结构
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。